초음파 기반 고정밀 제어
- Time-of-Flight 초음파 비행시간 측정 기술 적용
- 멀티 PID 제어 시스템과 고해상도 모터 적용
- 고속 및 저유량 구간의 안정적인 정밀 유량 제어
Liquid Flow Controller (LFC)
핵심 특징
고속 응답 및 외부 인터페이스
- 제어 결과 기반 실시간 유량 신호 출력
- 설정값 변화 및 압력 변동에 대한 빠른 응답
- 다양한 공정 환경에서의 안정적인 동작
공정 안정성
- 안전성 향상을 위한 이중 검증 구조 적용
- 유량계 또는 밸브 이상 발생 시 공정 위험 최소화 설계
내화학 설계
- 유체 접촉부 Wetted Parts에 PTFE 불소수지 적용
- 우수한 내화학성 및 내식성 확보
- 부식성 Chemical 유체 제어에 적합한 구조
모델 구성
LFC 유형 - L1 분리형
LFC 유형 - L2 분리형
LFC 유형 - L3 일체형
제품 사양
| 분류 | 4 | 8 | 15 | 20 | 25 |
|---|---|---|---|---|---|
| 접속구경 | Tube 1/4" | Tube 3/8" | Tube 1/2" | Tube 3/4" | Tube 1" |
| 유량계 Dimension | 139×110×39 | 139×110×39 | 172×110×20 | 176×110×39 | 182×110×39 |
| FCV Dimension | 144 | 148 | 154 | 162 | 186 |
| 49 | 59 | 73.4 | |||
| 11 | 15 | 17.5 | 22 | 27 | |
| 18 | 20 | 27 | 31 | 42 | |
| 4 | 6 | ||||
| 63 | 87 | 105.4 | |||
| 32 | 40 | 52 | |||
| 2-Ø5.5 | 4-Ø6.5 | ||||
| 40 | 50 | 64.4 | |||
| Type | Super 300 | ||||
| Body Material | PFA / PTFE | ||||
| 제어 유량범위 | 10–300 | 100–2000 | 0.50–10.00 | 1.0–20.00 | 5–50.00 |
| 25–500 | 150–3000 | 0.75–15.00 | 1.5–30.00 | — | |
| 50–1000 | 250–5000 | — | — | — | |
| 100–2000 | — | — | — | — | |
| Fluid Temperature | 10–100°C | 10–100°C | 10–100°C | 10–100°C | 10–100°C |
| Ambient Temperature | 10–50°C | 10–50°C | 10–50°C | 10–50°C | 10–50°C |
| Fluid Pressure | 0.1~0.3 MPa (IN단 공급압력) | ||||
| 0.05 MPa (차압) | 0.1 MPa (차압) | ||||
| 계측 정밀도 | 0~100 mL/min ±1 mL/min | 0~400 mL/min ±4 mL/min | 0~600 mL/min ±6 mL/min | 0~2.0 L/min ±20 mL/min | 0~5.0 L/min ±50 mL/min 0~8.0 L/min ±80 mL/min |
| 100~3000 mL/min ±1% of RD | 400~4000 mL/min ±1% of RD | 600~8000 mL/min ±1% of RD | 2.0~20.0 L/min ±1% of RD | 5.0~50.0 / 8.0~80.0 L/min ±1% of RD | |
| Trigger 입력전압 | 24 V Pulse Trigger | 24 V Pulse Trigger | 24 V Pulse Trigger | 24 V Pulse Trigger | 24 V Pulse Trigger |
| Trigger 주파수 | 2.0 MHz | ||||
| 수신부 출력전압 | Min. 200 mV | Min. 250 mV | Min. 300 mV | Min. 350 mV | Min. 420 mV |
| ±5% @ 2 MHz | |||||
| 동력부 | Stepping Motor | ||||
| 유량계 | Ultrasonic Flowmeter | ||||
| 유량 계측 방식 | 전반 시간차 계측법 | ||||
| 사용 유체 | DIW / 약액 (사용 유체에 대해서는 별도 표기) | ||||
| 비중 | 1 | ||||
| 점도 | 1.0 cp | ||||
| 밸브 동작속도 | 강제 전개: 약 1.5초 | ||||
| 제어 응답성: 약 1초 | 제어 응답성: 약 2초 | ||||