Bellows Pump

Bellows Pump LCB-SP2511

Bellows Pump는 반도체 및 정밀 화학 공정에서 약액을 이송하기 위한 공압식 펌프입니다. 고속 운전 성능과 내화학 구조를 적용해 공정 생산성과 장기 운전 안정성을 높입니다.

LCB-SP2511 및 LCB-SP1511 제품 구성
최대 220 SPM의 고속 운전과 맥동 저감
유체 접촉부에 불소수지 소재 적용
설치와 유지보수가 용이한 경량 구조

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제품 사양

항목	LCB-SP2511	LCB-SP1511
최대 토출 용량	60 LPM	30 LPM
최대 공급 공기압	0.15–0.5 MPa (5–50°C) 0.15–0.3 MPa (51–100°C) 0.15–0.20 MPa (101–180°C)	0.15–0.5 MPa (5–50°C) 0.15–0.3 MPa (51–100°C) 0.15–0.20 MPa (101–180°C)
최대 스트로크 속도	200 SPM	220 SPM
접속 구경	Ø25 × Ø22 mm PFA Tube	Ø19 × Ø16 mm PFA Tube
공기 공급 접속	Rc 3/8 (PT 3/8)	Rc 1/4 (PT 1/4)
사용 주위 온도	0–40°C	0–40°C

공정 안정성 및 유지보수

고속 운전 조건에서도 안정적인 약액 이송
부식성 Chemical 공정에 대응하는 내화학 구조
설치와 점검이 용이한 경량·최적화 구조

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