Inline Mixing System (IMS)
Inline Mixing System (IMS)는 반도체 세정 공정에서 사용하는 약액을 설정된 농도와 온도에 맞춰 혼합·공급하는 프로그램 제어 기반 시스템입니다. 유량 제어 부품과 온도 센서를 통합해 공정별 Chemical 공급 조건을 정밀하게 관리합니다.
- H₂O₂, HCl, NH₄OH, DIW 등 다양한 Chemical 공급 대응
- Flow Control Valve, Flow Meter 및 온도 센서 통합 제어
- 공정 조건에 따른 농도와 온도 맞춤 제어
- 채널 구성에 따른 유연한 Inline Mixing 시스템 설계
시스템 구성
농도·온도 정밀 제어
- 사용자가 설정한 농도와 온도 조건에 맞춰 Chemical을 정밀 공급
- 공정별 운전 조건을 프로그램으로 관리하는 제어 구조
인라인 혼합 통합 제어
- Flow Control Valve, Flow Meter 및 온도 센서를 채널 단위로 통합
- 유량과 온도 정보를 기반으로 혼합 상태를 안정적으로 유지
ECSC-IMS / ECSC-IMS-FMC
- Chemical 종류와 공급 채널에 따른 시스템 구성
- 공정 조건과 설치 환경에 맞춘 두 가지 제품군 구성
모델 구성
