ALS

Heat Exchanger & Chemical Circulator

ALS는 고성능 서보 시스템과 고정밀 LM 가이드를 기반으로 구성된 정밀 3축 Tilt 제어 모듈입니다. 반도체 및 정밀 장비 공정에서의 고정밀 제어, 정량 이송, 균일한 분포 조절 등의 어플리케이션에 적용될 수 있습니다.

High Repeatability & Accuracy Control
3축 Tilt 구조로 Uniformity 조절 한계성 개선
간편한 그리스 주유(Auto Lubrication)

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제품 사양

A. 제품 사양

ALS 제품 사양

ALS 제품 사양 상세

B. 테스트 지그 및 모션 제어 박스

Test Jig & Motion Control Box

C. 시험 데이터 반복 정밀도 5 ㎛ 미만

Test Data acc

Test Data acc

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