INNORES
INNORES(O-ring)은 반도체 장비에 최적화된 고내열, 고내화학성 제품입니다. 다양한 FKM, FFKM 소재를 기반으로 고객 맞춤형 설계가 가능하며, Slit Valve Plate, Ground Strap, Roller 등 다양한 정밀 부품군까지 함께 제공합니다.
- 자체 컴파운드(In-house compound) 개발로 고품질·고신뢰성 확보
- 고온(최대 330°C), 고내식 특성으로 클린 공정에 적합
- 고객 장비에 맞춘 맞춤 설계 및 100종 이상의 슬릿 밸브 플레이트 보유
- 국내 대형 고객사(Samsung, SK Hynix 등)에 납품되는 검증된 품질
제품 사양
컴파운드 및 색상
| 컴파운드 | 색상 |
|---|---|
| INS-1367 | Brown |
| INS-1271 | Translucent Beige |
| INS-2360 | Brown |
| IR-101 | Purple |
| SL-8000 | Black |
| SL-7000 | Black |
| EL-270 | Light Brown |
| KI-100 | Amber Translucent |
| 5275 | White / Black |
| 6065 | White |
| 5080 | White / Black |
| DIR-70 | Translucent |
| F-972 | White / Black |
| F575 | Black |
기계적 특성
| 코드 | 인장강도 (MPa) |
신장률 (%) |
탄성률 (MPa) |
|---|---|---|---|
| INS-1367 | 16.75 | 248 | 3.71 |
| INS-1271 | 16.98 | 206 | 5.0 |
| INS-2360 | 14.23 | 188 | 4.23 |
| IR-101 | 15.7 | 165 | 8.10 |
| SL-8000 | 20.1 | 138 | 13.8 |
| SL-7000 | 22.3 | 132 | 14.1 |
| EL-270 | 15.2 | 240 | 4.2 |
| KI-100 | 15.4 | 280 | 7.3 |
| 5275 | 21 | 170 | 8.5 |
| 6065 | 28.5 | 205 | 6.1 |
| 5080 | 19.8 | 155 | 13.9 |
| DIR-70 | 19.8 | 214 | 8.1 |
| F-972 | 21 | 230 | 8.8 |
| F575 | 18 | 180 | 10.5 |
열·압축 특성
| 코드 | 경도 Shore A (±5) |
압축 영구 변형 #214 / 70 h @ 200℃ |
최고 사용 온도 (℃) |
|---|---|---|---|
| INS-1367 | 64 | 15 | 315 |
| INS-1271 | 70 | 15 | 310 |
| INS-2360 | 68 | 15 | 320 |
| IR-101 | 75 | 12 | 325 |
| SL-8000 | 75 | 6 | 330 |
| SL-7000 | 76 | 8 | 330 |
| EL-270 | 70 | 16 | 320 |
| KI-100 | 75 | 13 | 315 |
| 5275 | 76 | 19 | 300 |
| 6065 | 64 | 22 | 300 |
| 5080 | 82 | 18 | 300 |
| DIR-70 | 70 | 15 | 300 |
| F-972 | 75 | 16 | 220 |
| F575 | 75 | 15 | 200 |