제품안내

AUPV Series

AUPV Series Vaporizer

액체 전구체 정밀 기화 시스템 · Direct Liquid Injection

ASK Ultra Performance Vaporizer(AUPV)는 정밀 공정용 액체 전구체를 고성능으로 기화하는 시스템입니다. Direct Liquid Injection(DLI) 기술로 다양한 전구체를 균일한 에어로졸 입자로 생성합니다.

U-shape 열교환기 구조로 안정적인 증기 흐름을 생성·공급해 공정 결함을 줄이며, 반도체·디스플레이·태양전지·에너지·의료 등 액체 전구체가 필요한 산업을 지원합니다.

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핵심 특징

직접 액체 주입 (DLI)

  • 액체 전구체의 정밀 주입과 고성능 기화
  • 다양한 전구체에 대응하는 균일한 에어로졸 생성

U자형 열교환 구조

  • 안정적이고 균일한 증기 흐름 생성·공급
  • 공정 결함과 기화 편차 최소화

정밀 히터 제어

  • 단일 기화 챔버 기반의 안정적인 열 제어
  • 모델별 단일·듀얼 히터 구성 지원

폭넓은 공정 적용

  • 반도체·디스플레이·태양전지 공정 대응
  • 에너지·의료 분야의 액체 전구체 공정 지원

모델 구성

M200P단일 챔버 · 듀얼 히터

AUPV M200P

M200BP단일 챔버 · 듀얼 히터

AUPV M200BP

M201P단일 챔버 · 단일 히터

AUPV M201P

제품 사양

ASK 모델M200PM200BPM201P
Control ValveOptionOptionOption
Dimensions (mm)114 × 246.71 × 123.75207.7 × 102.5 × 197.1219.51 × 80.0 × 98.45
Carrier Inlet Fitting1/4 in. VCR Female1/4 in. VCR Female1/4 in. VCR Female
Liquid Inlet Fitting1/8 in. VCR Female1/8 in. VCR Female1/8 in. VCR Female
Vapor Outlet Fitting1/4 in. VCR Female1/4 in. VCR Female1/4 in. VCR Female
Compressed Air Fitting4 mm Instant Tube Fitting4 mm Instant Tube Fitting4 mm Instant Tube Fitting
Leak Integrity<1×10⁻⁹ Pa·m³/s (He)<1×10⁻⁹ Pa·m³/s (He)<1×10⁻⁹ Pa·m³/s (He)
Carrier GasInert gas recommendedInert gas recommendedInert gas recommended
Max Carrier Gas Flow15 SLM N₂
(0–80 psig 유입압)		15 SLM N₂
(0–80 psig 유입압)		15 SLM N₂
(0–80 psig 유입압)
Max Liquid Flow Rate10 g/min (TEOS 상당)10 g/min (TEOS 상당)10 g/min (TEOS 상당)
System Pressure Limit150 psig150 psig150 psig
Compressed Air Pressure90–110 psig90–110 psig90–110 psig
Heater Power220 VAC, 60 Hz
300 W × 1 / 200 W × 1		220 VAC, 60 Hz
300 W × 1 / 200 W × 1		220 VAC, 60 Hz
300 W × 1
Temperature Range40–180°C40–180°C40–180°C
Vaporizer BodySS316 ConstructionSS316 ConstructionSS316 Construction
Wetted PartsSS316, PEEK, PTFE, VitonSS316, PEEK, PTFE, VitonSS316, PEEK, PTFE, Viton
Temperature SensorThermocouples K Type × 2Thermocouples K Type × 2Thermocouples K Type × 1

AVDS 시스템 구성

AVDS는 GMFC·LMFC 기반의 가스·액체 유량 제어와 AUPV를 통합해 균일한 고품질 증기를 공급하는 Vaporizer Delivery System입니다.

AVDS ASK Vaporizer Delivery System 구성도
AVDS · ASK 기화기 공급 시스템광범위한 액체 전구체와 정밀 공정 조건에 대응하는 통합 공급 구성

적용 공정 및 전구체

적용 박막기능 / 목적박막 재료유체 재료기화기
High-KGate insulator, CapacitorHfO2, ZrO2, La2O3, AL2O3, OthersHTB, TDEAH, TEMAH, TEMAZ, OthersAUPV-L100
Insulator filmProtective film, Insulator filmSiO2, SiN, PSG, BPSGTEOS, TEB, TEPO, OthersAUPV-M200
High-permittivity film, Ferroelectric filmCapacitorTa2O5, BST, PZT, SBTAl(C2H5)6, Ba(DPM)2, Sr(DPM)2, Pb(DPM)2, OthersAUPV-M200
Low-KInterlayer insulation sheetVarious materialsDVS-BCB, TMCTS, OthersAUPV-M200
OthersVarious applicationsVarious materialsHigh flow DIW(H2O)AUPV-H300

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