제품안내

Cooling Unit

Cooling Unit

Cooling Unit은 반도체 공정에서 고온의 Chemical을 저온으로 Cooling 시켜주는 장비로 일정 시간 동안 Cooling 활동으로 배출하는 Unit입니다.

  • 반도체 공정의 고온 Chemical을 설정 온도 범위로 냉각하는 고성능 냉각 장치
  • 효율적인 열 방출 구조를 적용한 안정적이고 신뢰성 있는 온도 제어
  • 반도체 화학 공정 환경에 최적화된 Temperature Management 솔루션
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제품 사양

본체

항목사양비고
BodyFM PVC White-
PLCMITSUBISHI-

유틸리티

항목사양비고
전원220V, 15A, 1 Phase-
Exhaust150A PVC-
Drain 배관16A 일반 PVC-
CDA 배관1/2" SUS Tube, Lock Type-
N₂ 배관1/2" SUS Tube, Lock Type-
Tower Drain-1, -23/4" PFA Tube40A PVC Double Pipe
Drain for CDS1" PFA Tube40A PVC Double Pipe
Drain-1, -23/4" PFA Tube40A PVC Double Pipe
Chem Drain-1, -23/4" PFA Tube40A PVC Double Pipe
PCW3/4" SUS Tube, Lock Type-
DIWDN25 PVDF-

약액부

항목사양비고
Used Chemical고객 사양-
Cooling TankPTFE 60 L-
Temperature85°C-
Level Sensor액면 레벨 포토 센서-
PumpBellows Pump5~100°C, 30 LPM

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