Chemical Delivery System
제품 사양
| 외장 구조 | SS400 40 × 40 × 1.5T Frame / White FM PVC 10T |
|---|---|
| System Size | CDS 1800 × 1200 × 2000 mm / Reclaim 600 × 600 × 900 mm |
| Process Tank | PVDF 또는 PTFE / Max. 70 L / 2 Tanks |
| Flow Range | Tank Circulation 0–18 LPM / Chemical Supply 0–26 LPM |
| Temperature | CCS 25–30°C / PT-100Ω |
| Chemical Line | PFA Tube |
| Communication | 고객사 사양 대응 |
상세 구성
01외장외장 구조 및 크기
- Frame: SS400, 40 × 40 × 1.5T
- Material: White FM PVC
- Thickness: 10T / Frame Cover 5T
- Door: Interlock Door / Window: Cleaner PVC
- CDS: 1800 × 1200 × 2000 mm, Leveller 제외, ±100 mm
- Reclaim: 600 × 600 × 900 mm, Leveller 제외, ±50 mm
02공정 탱크저장·레벨·교대 운전
- Material: Chemical 물성 검토 후 PVDF 또는 PTFE 적용
- Capacity: Max. 70 L / Quantity: 2 Tanks
- Chemical Level: 정전용량 Sensor, LL → L → M → H → HH
- 적정 공급량 초과 시 Overflow Drain Tube 적용
- Temperature Sensor: PT-100Ω
- N₂ Purge Line 및 Filter 적용으로 오염 최소화
- Tank #1 Process 운전 시 Tank #2 Standby 교대 운전
03벨로우즈 펌프순환 및 약액 공급
- Tank Circulation: 0–18 LPM
- Chemical Supply: 0–26 LPM
- Pump 구동 Drain 및 중력식 Manual Drain 적용
- Pump Trouble 감지를 위한 IN / OUT Pressure Sensor 적용
- Pump 사양에 맞춘 맥동 방지 Damper 설치
04약액 필터약액별 여과 구성
- Material: PTFE
- Chemical 특성에 적합한 Filter 선정
05온도 제어항온조 및 히터
- 항온조: CCS 제품, 25–30°C
- Heater: SC-1(APM) 공정 대응
- 고객 요청에 따른 Hot DIW Line 추가
- Cooling Water Line 설치
- Heater 교체용 Manual Pressure Vent Valve 개별 적용
06배관공급·회수·유틸리티 배관
- Chemical Line: PFA Tube
- Utility Line: SUS316에서 Chemical Zone 내 PFA로 전환
- Supply Line: Pressure Sensor와 Flow Meter를 통한 공급 유량 Monitoring
- Return Line: Pressure Sensor, Flow Meter 및 Back Pressure Regulator 적용
- Reclaim Line: Filter 적용
- Over Drain Line: Check Valve 적용
- Pump Air Line 및 고온 Line 보온 적용
- Air Line Numbering Tag 적용
07농도계농도 모니터링 및 샘플링
- Process Tank #1, #2 Chemical 혼합·순환 과정의 농도 Monitoring
- 농도 측정 후 Cleaning을 위한 DI Line 적용
- Chemical 종류에 따른 농도계 사양 변경
- 오염 분석용 Sampling Line 적용
08안전 및 인터페이스감지·구획·고객사 연계
- Gauge 점검용 Sticker 및 모든 Part Name Tag 부착
- 내부 각 Zone에 Leak Sensor 적용
- Chemical Zone과 Electrical Zone 분리
- Hook-up Utility는 고객사 범위 적용
- DI Water Gun 설치
- Communication Type은 고객사 사양 준수