고순도 PFA/PTFE 소재
반도체 Chemical Line에서 요구되는 청정성과 내약품성을 고려한 불소수지 Tube 및 Fitting 구성
PFA/PTFE TUBE & Fitting
PFA/PTFE Tube & Fitting은 반도체 장비의 약액·공압 라인에 적용되는 고순도 불소수지 배관 및 연결 부품입니다. 다양한 배관 규격과 연결 방식을 구성할 수 있으며, PFA Valve·Regulator·Sensor 등 유체 제어 제품과 연계해 공정 라인을 구성할 수 있습니다.
- 고순도 Chemical Line용 PFA/PTFE 소재
- 공정 조건에 따른 다양한 Tube & Fitting 연결 방식
- CDS · VMB · Wet Bench · CMP 등 반도체 공정 적용
- Valve · Regulator · Sensor 등 PFA 유체 제어 제품과 연계
핵심 특징
다양한 연결 방식
Insert Bushing, Spigot Butt + IR, Flare Link 등 배관 조건과 유지보수 방식에 맞춘 연결 방식 지원
고온·Chemical 환경 대응
PFA Tube 기준 최대 200°C급 고온 환경과 강산·강염기·유기용제 등 Chemical 배관 적용
PFA 유체 제어 제품과 연계
Diaphragm Valve, Precision Regulating Valve, Pressure Regulator, Sensor 등과 함께 유체 라인 구성 가능
제품 사양
Tube & Fitting 기본 사양
| Material | PFA / PTFE |
|---|---|
| Product | PFA Tube / PFA Fitting |
| Connection | Insert Bushing · Spigot Butt + IR · Flare Link |
| Tube Temperature | 최대 200°C급 적용 |
| Chemical Resistance | 강산 · 강염기 · 유기용제 등 Chemical 환경 |
| Application | 반도체 약액 라인 · 고순도 유체 배관 · 공압 라인 |
| Configuration | 배관 규격 및 고객 요구 치수에 따라 선택 구성 |
적용 및 연계 제품군
| 구분 | 대표 제품 / 구성 | 주요 사양 및 적용 |
|---|---|---|
| 공압 다이어프램 밸브 | DVA Series | 1/8" ~ 1-1/2" · PFA/PTFE · 0~5 bar · 5~120°C · CDS/VMB/Wet Bench/CMP/Chemical Tank |
| 정밀 조절 밸브 | DV315 | 0.1 mm/회전 정밀 유량 조정 · 432 Step Flow Control · 고부식성 Chemical Line 적용 |
| 감압 밸브 | PV317 | 작동 압력 0.08 ~ 0.3 MPa · Dynamic Regulation · Chemical Line 압력 안정화 |
| 기타 PFA 제품 | Check Valve · Back Pressure Valve · Custom Valve Block · Sensor | 배관 목적과 공정 조건에 따라 Tube/Fitting과 함께 시스템 구성 |