제품안내

Ultrasonic Liquid Flow Meter

Ultrasonic Liquid Flow Meter

초음파 Time-of-Flight 기술을 기반으로 액체 유량을 정밀하게 계측하고, PID 제어와 외부 통신을 지원하는 유량 계측 시스템입니다. 초음파 센서와 제어 알고리즘을 결합해 다양한 공정 환경에서도 안정적인 유량 계측과 제어를 구현합니다.

  • 초음파 Time-of-Flight 기반 고정밀 유량 계측
  • PID 알고리즘 기반 안정적인 폐루프 제어
  • EtherCAT 및 RS-485 통신 인터페이스 지원
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핵심 동작 원리

01

초음파 ToF 측정

초음파 신호 샘플링 및 Time-of-Flight 측정

02

폐루프 피드백 제어

유속·유량 계산 및 목표 유량 기준 폐루프 피드백 제어

03

액추에이터 제어

유량 조정을 위한 모터 또는 정류 액추에이터 제어

04

실시간 통신

EtherCAT / RS-485 기반 외부 시스템과의 실시간 통신

제품 사양

제어 플랫폼

적용 장치 모듈EtherCAT · RS-485 · 전원 모듈
장치 표준ETG.5003.1 반도체 장치 표준
상호 운용성공통 장치 프로파일(CDP) 준수
EtherCAT 슬레이브글로벌 반도체 장비 제조사가 주도해 개발한 EtherCAT 표준 적용
장치 프로파일ETG.3003.202 Mass Flow Controller SDP

유량계 성능

전반 시간차 정밀도dTOF 25 ps 이하
초음파 센서1.0 ~ 2.5 MHz
유량 제어 채널모듈당 6 ch 동시 제어
(6 PID Loop)
디지털 / 아날로그 출력6 ch · 4~20 mA, 6 ch/module
신호 처리송수신 처리부 · 유량 계산 · 보정 알고리즘

기초 사양

Dimension139 × 110 × 39 mm
Body MaterialPFA
Fluid Temperature10 ~ 90°C
Ambient / Storage0 ~ 60°C / 0 ~ 100°C

계측 사양

유량 계측 방식전반 시간차 계측법(dTOF)
유량 계측 범위0 ~ 100 mL/min
계측 정밀도0~25: ±0.25 mL/min
25~100: ±1% RD
Trigger / 수신부 출력24 V Pulse / 2.0 MHz
Min. 150 mV ±5%

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