Heat Exchanger & Chemical Circulator

HE-3320 Series는 반도체·화학 공정에서 사용하는 약액을 순환시키며 정밀하게 가열·냉각하는 온도 제어 시스템입니다. 고순도 PFA Tube 융착 구조를 적용해 접액부의 오염과 누설 가능성을 낮추고 안정적인 공정 온도를 유지합니다.

핵심 특징

Peltier Module과 전류 제어·극성 전환 SMPS 기반의 정밀 가열·냉각 제어

내약품성과 청정성 확보, Fitting 체결 대신 융착 구조 적용으로 누설 가능성 저감

접액부 금속 및 일반 소재 최소화로 Particle 및 Metal Contamination 발생 가능성 저감

RS-232 / RS-485 / Modbus 기반 원격 운전 및 상위 시스템 연동 지원

Type	Heat Exchanger
Configuration	Module & Controller
Temperature Range	15~50°C
Temperature Accuracy	±0.1°C
Max. Heating Capacity	2,900 W
Circulation Flow Range	15~20 L/min
Max. Allowable Pressure	0.35 MPa
Power	AC 220 V, 20 A
Dimension – Module	W290 × D300 × H254 mm
Dimension – Controller	W165 × D453 × H359 mm
Interface	RS-232 / RS-485 / Modbus
Material	PFA / FM PVC
Application	Chemical circulation & temperature control